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广州帕纳光电科技有限公司
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轴封-填料压得太紧或磨擦
处理方法:放松填料,检查水封管;
水封圈与水封管错位
处理方法:重新检查对准;
冲洗、冷却-
处理方法:检查冲洗冷却循环管;
机械密封有故障
处理方法:检查机械密封。
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因:过热,负载大
解决措施:检查冷却系,检查系统
分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如m5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
分子泵叶片破碎的原因:
答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
静环密封圈越紧越好。静环密封圈基本处于静止状态,相对较紧密封效果会好些,但过紧也是有害的。一是引起静环密封因过度变形,影响密封效果;二是如果静环材质是石墨,一般较脆,过度受力极易引起碎裂;三是安装、拆卸困难,极易损坏静环。
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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。安捷伦分子泵维修公司
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。原因:油池或密封-解决方法:检查油池广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦分子泵维修公司。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定-。注:皮秒激光=兆分之一秒安捷伦分子泵维修公司
软启动器开关电源,转速比升高全过程中就自动开关机,即显示信息“po“。
答:缘故工作电压低。安捷伦分子泵维修公司
分子泵的清理十分关键,假如前面泵没有问题,而真空泵在要求的時间内沒有做到要求的真空值,在清除漏汽的状况下,表明分子泵內部脏化了,就必须开展清理。答:注意水温和水流量,冷却-会导致无故停机、碎泵、油变黑等。分子泵的清理分成立即开展清理和拆装清理,前面一种适用內部不太脏,后面一种用以內部比较-脏化。安捷伦分子泵维修公司