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广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦涡轮分子泵维修中心；

分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。　　分子泵在电机的带动下高速旋转，采用变频电源驱动电机，目的是得到较高的转速。

分子泵是一种真空泵，它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度，从而将其压缩并驱动到上一级的排气口。

维护分子泵的操作要求：

1.分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏；

2.分子泵不能在-中打开，必须在达到10pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵；

这种分子泵的维护可具体分为：1牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。 2涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。水泵的使用除了严格按安装使用说明书进行外，还应注意两点：一是切忌仅凭“经验”。

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生-的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵-真空比扩散泵高，可达10-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。分子泵的转速可达到10000r/min~50000r/min，如果直接抽-，气流会对分子泵造成不可逆的损伤甚至报废。

采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品，它延续了前代产品所具有的压缩比、-的-真空、-的前级耐压和无油等特点；更结合了突破性技术，拥有的和-性的同时，它紧凑的设计更包含了众多-的全新功能。

现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承定位受力状态好，使用-，轴承更换过程中转子位置不动，维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单，所以近些年立式分子泵的发展速度很快。